发明名称 MULTI-TYPE WORKS TRANSPORTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050046220(A) 申请公布日期 2005.05.18
申请号 KR20030080248 申请日期 2003.11.13
申请人 DMS CO., LTD. 发明人 KIM, KYUNG CHUL;PARK, GI BUM;PARK, YONG SEOK
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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