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发明名称 MULTI CHAMBER SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20050045191(A) 申请公布日期 2005.05.17
申请号 KR20030079160 申请日期 2003.11.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHAE, SEUNG KI;KIM, KI SANG;LEE, IN HO
分类号 B65G1/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
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