发明名称 A method for inspecting defects of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100489994(B1) 申请公布日期 2005.05.17
申请号 KR20020057857 申请日期 2002.09.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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