发明名称 PROTECTIVE COATING COMPOSITION FOR DUAL DAMASCENE PROCESS
摘要
申请公布号 KR100489313(B1) 申请公布日期 2005.05.17
申请号 KR20010080420 申请日期 2001.12.18
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;H01L23/522;C08L81/06;H01L21/312;H01L21/768;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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