Orifice type Gas Sensor using CVD DLC Thin Film and Fabrication Method for the same,申请号KR20020051940-传众专利搜索

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发明名称	Orifice type Gas Sensor using CVD DLC Thin Film and Fabrication Method for the same
摘要
申请公布号	KR100489297(B1)	申请公布日期	2005.05.17
申请号	KR20020051940	申请日期	2002.08.30
申请人		发明人
分类号	G01N27/407;(IPC1-7):G01N27/407	主分类号	G01N27/407
代理机构		代理人
主权项
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