多晶矽薄膜的制造方法以及多晶矽薄膜电晶体的制造方法

摘要

一种多晶矽薄膜的制造方法，此方法系提供一基底，接着于基底上依序形成一绝缘层与一非晶矽层，然后于非晶矽层上形成一金属层，其后将一电流通过金属层，以使非晶矽层转变成一多晶矽层。