探针片及使用该探针片之探针片单元

摘要

〔目的〕本发明之目的之一就是在提供一种探针片，其能够独立于测量标的物之电极高度的分散性而达成正确的测量；以及一种使用该探针片的探针片单元。〔组成〕探针片单元A系为一用于测量标的物B之测量仪器(未显示)之感知部分，其包含：有一被设置于该仪器之探针仪上的基板100以及被置于该基板的下表面之探针片200；该探针片200包含有一种具有可挠性的片状元件210，以及多个设置于该片状元件之一表面上而用来测量的探针220，其中该探针220具有一可向上或向下弹性变形之形状。