拱型探针及使用该拱型探针之探针卡

摘要

〔目的〕本发明的目的系提供一种拱型探针，其纵使被小型化乃能够承受由过度负载所造成的负载，以及使用该探针的探针卡。〔构成〕一种拱型探针，其半圆弧型之形状，该探针之一端系为在该基板所支持，该拱型探针具有一第一呈四分之一之圆弧部分，其一端系为平板所支持；以及一第二呈四分之一之圆弧部分，其连接到该第一呈四分之一圆弧部分之另一端，向基板延伸，且是稍短于该第一呈四分之一圆弧部分，在该探针的顶部分作为接触表面，以与一测量标的物之电极相接触。