以电导电压为基础监控介电材料中漏电流之方法

摘要

覆盖一半导体晶圆之一介电材料之一漏电流可以移动一导电探针至接触该介电材料、并施加一电性刺激于该探针尖端及该半导体晶圆之间以得到，其中，该电性刺激具有固定振幅及固定频率之交流电压形式，该交流电压叠加于一直流电压，该直流电压由一启始电压平扫至一终结电压。该介电材料及该半导体晶圆之关连电导数值可以经由该交流电压及一交流电流间之相角决定，该交流电流来自该直流电压平扫期间之该施加交流电压。随后，该介电材料之该漏电流可以经由该等电导数值决定。