清洁矽酸盐材料的制程及装置

摘要

供处理一石英基板之一表面的一方法，包含：准备一基板以提供具有一初始粗糙度的一工作表面；以及接着以超音波酸蚀刻工作表面，以增加工作表面之粗糙度至少约10％。一实施例中，初始表面粗糙度大于约10Ra，且另一实施例中，初始表面粗糙度大于约200Ra。又一实施例中，初始表面积，若小于约200Ra，则增加到大于约200Ra。本发明其他实施例中，工作表面粗糙度增加至少约25％或至少约50％。在表面积(由粗糙度估量)增加的同时，降低表面缺陷，以减少来自基板的微粒污染。