金属层侧面移除部分之闸极结构之制造方法

摘要

一种制造闸极结构之方法，包含步骤系提供一矽基底；于矽基底表面形成一导电层；于导电层表面形成一金属层；于金属层表面形成闸极预定图案之第一保护层，其中各闸极图案具有露出之顶部表面及侧面表面；将侧面表面移除部分，形成第一闸极元件；将第一闸极元件之图案移转至金属层，形成第二闸极元件；于矽基底、第一闸极元件及第二闸极元件之暴露表面形成第二保护层；以及将具有第二保护层之第一闸极元件及第二闸极元件之图案移转至导电层，形成第三闸极元件。