研磨构件

摘要

一种研磨构件，此研磨构件系由一研磨盘、一研磨衬垫与一研磨垫所组成。研磨衬垫系配置于研磨盘上，研磨垫系配置于研磨衬垫上，其中研磨衬垫系以一第一表面与研磨垫接触，且研磨衬垫系以一第二表面与研磨盘接触，其特征在于第一表面与第二表面的其中之一系为一凹凸表面。