多孔性聚胺基甲酸酯抛光垫

摘要

一种用来抛光半导体基材的多孔性抛光垫。该多孔性抛光垫具有多孔性基质，其系由经聚集之聚胺基甲酸酯及非纤维抛光层所形成。该非纤维抛光层具有一个每平方毫米之孔数至少500孔的抛光表面，其随抛光层的移除而减少；并且该抛光表面具有表面粗糙度Ra在0.01及3微米之间。