| 摘要 |
本发明揭示一种热控制微影化学制程之系统、装置及方法。该热控制系统包含一多区热感测单元，其含有复数个热感测元件。这些热元件系配置用以检测复数个在该等基板上之预先定义区域之温度。该系统也包含一多区热调节单元，其包含复数个热耦合器元件，其系配置用以调节该等预先定义区域之温度。该系统尚包含一热控制器单元，其可操作地及可通信地耦合到该多区热感测单元及该多区热调节单元。该热控制器单元从该多区热感测单元接收该检测温度、处理该检测温度资讯，基于该处理过之温度资讯产生温度控制资讯，及将该温度控制资讯传送到该多区热调节单元，以调节该等预先定义区域的温度。 |
