METHOD FOR PREVENTING SHORT CHANNEL BY USING TRENCH FORMATION,申请号KR20020020626-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PREVENTING SHORT CHANNEL BY USING TRENCH FORMATION
摘要
申请公布号	KR100489526(B1)	申请公布日期	2005.05.16
申请号	KR20020020626	申请日期	2002.04.16
申请人		发明人
分类号	H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762	主分类号	H01L21/762
代理机构		代理人
主权项
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