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发明名称 TESTKARTE ZUR WAFER-PRÜFUNG
摘要
申请公布号 AT294396(T) 申请公布日期 2005.05.15
申请号 AT19980908647T 申请日期 1998.02.11
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 HEMBREE, DAVID, R.;FARNWORTH, WARREN, M.;AKRAM, SALMAN;WOOD, ALAN, G.;DOHERTY, C., PATRICK;KRIVY, ANDY, J.
分类号 G01R1/073;G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/073;G01R31/316 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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