| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für Speicherzellen mit Kragenisolationsschichten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10324606(B4) |
申请公布日期 |
2005.05.12 |
| 申请号 |
DE20031024606 |
申请日期 |
2003.05.30 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
WEIS, ROLF;TEWS, HELMUT HORST |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/311;H01L21/8242;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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