| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Isolieren mechanischer Schwingungen, die auf Strahlmeßinstrumente einwirken. DOLLAR A Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine neue und verbesserte Möglichkeit einer mechanischen Schwingungsisolation von Meßwerkzeugen bereitzustellen, durch welche insbesondere Standardinstrumente mit kleinerer Modifikation sowie auch die Reaktion auf Beschränkungen und spezielle Schwächen von tatsächlichen Instrumenten ermöglicht werden können. DOLLAR A Die Erfindung schlägt die Isolation insbesondere auf akustischem Geräusch beruhender mechanischer Schwingungen, die auf ein Meßwerkzeug einwirken, das eine Außenstruktur zum Unterstützen eines Meßinstrumentes und eines Einspannkopfes zum Halten einer Probe in Bezug auf das Meßinstrument in einer gewünschten definierten Position zum Durchführen von Messungen auf der Probe durch das Meßinstrument aufweist, dahingehend vor, daß ein Versatz der Position als Reaktion auf mechanische Schwingungen detektiert und eine aktive Modifikation der Position des Einspannkopfes als Antwort auf die Detektion bewirkt wird, um einer relativen Verschiebung zwischen der Probe und dem Meßinstrument entgegenzuwirken.
|
