发明名称 METHOD FOR FORMING MATERIAL LAYERS OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR20050044141(A) 申请公布日期 2005.05.12
申请号 KR20030078712 申请日期 2003.11.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, YONG HO
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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