发明名称 Method for increasing the mobility of vapor-deposited pentacene
摘要 This invention provides a method for increasing the charge-carrier mobility in vapor-deposited pentacene, resulting in improved semiconductor properties.
申请公布号 US2005100668(A1) 申请公布日期 2005.05.12
申请号 US20040949867 申请日期 2004.09.24
申请人 METH JEFFREY S. 发明人 METH JEFFREY S.
分类号 C23C16/00;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;H01L51/52;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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