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发明名称 SURFACE WAVE EXCITATION PLASMA CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20050044248(A) 申请公布日期 2005.05.12
申请号 KR20040088315 申请日期 2004.11.02
申请人 SHIMADZU CORPORATION 发明人 SUZUKI, MASAYASU
分类号 H05H1/46;C23C16/00;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/455;C23C16/511;C23C16/517;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/455 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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