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Bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Bestimmen der Struktur einer Oberfläche, bei dem ein flächiges Muster von einem Bilderzeuger (12) erzeugt wird, bei dem das Muster an einer Oberfläche (11) gespiegelt wird, bei dem das gespiegelte Muster von einer Optik auf einen Bildaufnehmer (14) abgebildet wird, und bei dem das von dem Bildaufnehmer (14) aufgenommene Bild von einer Steuerung (17) ausgewertet wird, läßt sich ein robustes, einfaches, kostengünstiges sowie schnelles und flächenhaftes Vermessen der Oberfläche eines Objektes dadurch erzielen, dass aufeinander folgend mehrere flächige Muster mit flächigen Strukturen bildpunktweise von dem Bilderzeuger erzeugt werden, daß die Strukturen zweier Muster voneinander verschiedene Abmessungen haben, und daß die einzelnen Bildpunkte zweier Muster jeweils eine definierte Position aufweisen.
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