Verfahren und System zum automatischen Steuern einer Stromverteilung einer Mehrfachanodenanordnung während des Plattierens eines Metalls auf eine Substratoberfläche

摘要

Es wird eine Elektroplattierungsanlage in Kombination mit einer Steuerung betrieben, die automatisch die einzelnen Ströme für eine Mehrfachanodenkonfiguration der Plattierungsanlage bestimmt. Die Berechnung der Anodenströme kann auf Sensitivitätsdaten und Messdaten sowie auf einem gewünschten Sollprofil beruhen, so dass eine schnelle Reaktion in Bezug auf Prozessschwankungen erreicht werden kann, selbst wenn die Plattierungsanlage mehrere Prozesskammern aufweist.