| 摘要 |
Ein Bschleunigungssensor ist auf einer oberen Oberfläche eines laminierten Silizium-auf-Isolator-Substrats (1) ausgebildet. Der Beschleunigungssensor ist aufgebaut aus ersten und zweiten Kondensatoren mit jeweils einer beweglichen Elektrode (13, 23), welche sich abhängig von einer angelegten Beschleunigung bewegt. Die ersten und zweiten Kondenstoren sind so ausgelegt, daß sich ihre Kapazitäten (C1, C2) unterschiedlich ändern, wenn die gleiche Beschleunigung anliegt, wobei die Kapazitätsdifferenz (C1-C2) den Betrag der angelegten Beschleunigung wiedergibt. Ein dritter Kondensator mit einer Ausgangseleketrode (30), die fest mit dem Basissubstrat (2) über die Isolierschicht (3) verbunden ist, ist ebenfalls auf dem gleichen Silizium-auf-Isolator-Substrat (1) ausgebildet. Ein Ausgang, der den Beschleunigungsbetrag oder die Beschleunigungsgröße wiedergibt, wird von der Ausgangselektrode (30) des dritten Kondensators abgegriffen.
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