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发明名称 EINE PLASMAANLAGE MIT ATMOSPHÄRISCHEM DRUCK
摘要
申请公布号 DE60102903(T2) 申请公布日期 2005.05.12
申请号 DE20016002903T 申请日期 2001.02.12
申请人 DOW CORNING IRELAND LTD., MIDLETON 发明人 HERBERT, ANTHONY;O'REILLY, FERGAL;BRADDELL, JULES;DOBBYN, PETER
分类号 H05H1/24;B01J19/08;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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