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发明名称 AQUEOUS CLEANING SOLUTION FOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND CLEANING METHOD USING THE CLEANING SOLUTION
摘要
申请公布号 KR20050044085(A) 申请公布日期 2005.05.12
申请号 KR20030078640 申请日期 2003.11.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, SANG JUN;HONG, CHANG KI;MUN, CHANG SUP
分类号 C11D1/72;C11D3/00;C11D3/02;C11D3/04;C11D3/16;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/34;C11D11/00;C11D17/08;C23G1/18;H01L21/304;(IPC1-7):C11D3/16 主分类号 C11D1/72
代理机构 代理人
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