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发明名称
摘要
申请公布号 JP2005513794(A) 申请公布日期 2005.05.12
申请号 JP20030555281 申请日期 2002.10.02
申请人 发明人
分类号 G02B7/00;G02B5/30;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
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