| 主权项 |
1.一种模组化微奈米精密定位平台,其主要具有一固定基座,固定基座上形成贯穿透孔且设置三轴微动机构,三轴微动机构上方设置活动平台,活动平台设有对应固定底座之透孔的贯穿通孔,该三轴微动机构由二第一微动装置模组、二第二微动装置模组,以及对应第一、第二微动装置模组数量之压电致动组所构成,其中:二第一微动装置模组分别设置于固定基座之透孔两侧呈相对状,该第一微动装置模组具有固接于固定基座上的固定梁,固定梁上方具有间隔相对之活动梁,固定梁及活动梁间以挠性连杆衔接,挠性连杆与固定梁及活动梁衔接处形成可挠性颈缩部;二第二微动装置模组系垂向固接于二第一微动装置模组两侧端,且位于固定基座之透孔两侧呈相对状,该第二微动装置模组具有固定梁,固定梁两端固接于第一微动装置模组之活动梁两侧端,固定梁下方具有间隔相对之活动梁,活动梁以固定片与活动平台固接,固定梁及活动梁间以挠性连杆衔接,挠性连杆与固定梁及活动梁衔接处形成可挠性颈缩部;各压电致动组具有分别固接于第一、第二微动装置模组之固定梁上的座体,该座体朝向活动梁一侧形成凹槽,各凹槽中设置分别于固接第一、第二微动装置模组之活动梁上的致动块,致动块小于凹槽,且致动块一侧与凹槽相对槽壁间设置压电元件,相对之另侧与其相对之凹槽槽壁间设有弹性元件。2.如申请专利范围第1项所述之模组化微奈米精密定位平台,其中,第一微动装置模组之活动梁顶面形成衔接凹槽,第二微动装置模组之固定梁二侧延伸出固接于衔接凹槽中的组接端。3.如申请专利范围第1或2项所述之模组化微奈米精密定位平台,其中,固定片具有固接于第二微动装置模组之活动座底面的固定部,以及自固定部侧边朝上延伸与活动平台固接的延伸部。4.如申请专利范围第1或2项所述之模组化微奈米精密定位平台,其中,压电致动组之座体凹槽槽壁,以及致动块相对于该凹槽槽壁之二侧壁上分别形成供弹性元件及压电元件装设其中孔洞。5.如申请专利范围第3项所述之模组化微奈米精密定位平台,其中,压电致动组之座体凹槽槽壁,以及致动块相对于该凹槽槽壁之二侧壁上分别形成供弹性元件及压电元件装设其中孔洞。6.如申请专利范围第1项所述之模组化微奈米精密定位平台,其中,弹性元件为弹簧。图式简单说明:第一图系本创作之立体分解图。第二图系本创作之前组合剖视图。第三图系本创作之侧组合剖视图。第四图系本创作三轴微动机构作动时之示意图(一)。第五图系本创作三轴微动机构作动时之示意图(二)。第六图系本创作之立体外观图。 |
