发明名称 彩色滤光片及其制造方法
摘要 彩色滤光片包括多个第一滤光单元、多个第二滤光单元以及多个第三滤光单元。第一滤光单元系依据第一光罩之第一图案制成,其中各个第一图案包括第一主图案部及多个第一补偿部。第二滤光单元系依据第二光罩之多个第二图案制成。第一补偿部系用以使各个第一滤光单元与临接之第二滤光单元平坦密合。
申请公布号 TWI232318 申请公布日期 2005.05.11
申请号 TW093118186 申请日期 2004.06.23
申请人 奇景光电股份有限公司 发明人 陈维孝;谢孟勋
分类号 G02B5/23 主分类号 G02B5/23
代理机构 代理人 林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项 1.一种彩色滤光片,包括:复数个第一滤光单元,系依据一第一光罩之复数个第一图案制成,其中各该些第一图案包括一第一主图案部及复数个第一补偿部;以及复数个第二滤光单元,系依据一第二光罩之复数个第二图案制成;其中,该些第一补偿部系用以使各该些第一滤光单元与临接之该些第二滤光单元平坦密合。2.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部,且对应于各该些第一滤光单元与临接之该些第二滤光单元之间形成之复数个角落接点。3.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部之角落。4.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部之侧边。5.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,其中该第一图案与该第二图案相同。6.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,更包括:复数个第三滤光单元,系依据一第三光罩之复数个第三图案制成,其中该些第一滤光单元、该些第二滤光单元与该些第三滤光单元呈三角(Delta)方式排列。7.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,更包括:复数个第三滤光单元,系依据一第三光罩之复数个第三图案制成,其中该些第一补偿部系用以使各该些第一滤光单元与临接之该些第二滤光单元及临接之该些第三滤光单元平坦密合。8.如申请专利范围第7项所述之彩色滤光片,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部之四个角落以及相对两侧边。9.如申请专利范围第7项所述之彩色滤光片,其中各该些第二图案更包括一第二主图案部及复数个第二补偿部,且该些第二补偿部系用以使各该些第二滤光单元与临接之该些第一滤光单元及临接之该些第三滤光单元平坦密合。10.如申请专利范围第9项所述之彩色滤光片,其中该些第二补偿部系突出于对应之该第二主图案部之角落。11.如申请专利范围第9项所述之彩色滤光片,其中该些第二补偿部系突出于对应之该第二主图案部之侧边。12.一种彩色滤光片之制造方法,该彩色滤光片包括复数个第一滤光单元以及复数个第二滤光单元,该制造方法包括:利用一第一光罩之复数个第一图案图案化一第一光阻层,以形成该些第一滤光单元,其中该些第一图案包括一第一主图案部及复数个第一补偿部;以及利用一第二光罩之复数个第二图案图案化一第二光阻层,以形成该些第二滤光单元;其中,该些第一补偿部系用以使各该些第一滤光单元与临接之该些第二滤光单元平坦密合。13.如申请专利范围第12项所述之制造方法,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部,且对应于各该些第一滤光单元与临接之该些第二滤光单元之间形成之复数个角落接点。14.如申请专利范围第12项所述之制造方法,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部之角落。15.如申请专利范围第12项所述之制造方法,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部之侧边。16.如申请专利范围第12项所述之制造方法,其中该第一图案与该第二图案相同。17.如申请专利范围第12项所述之制造方法,该彩色滤光片更包括复数个第三滤光单元,该制造方法更包括:利用一第三光罩之复数个第三图案图案化一第三光阻层,以形成该些第三滤光单元,其中该些第一滤光单元、该些第二滤光单元与该些第三滤光单元呈三角(Delta)方式排列。18.如申请专利范围第12项所述之制造方法,其中该第一光阻层系以负光阻(Negative Resist)制程形成。19.如申请专利范围第12项所述之制造方法,该彩色滤光片更包括复数个第三滤光单元,该制造方法更包括:利用一第三光罩之复数个第三图案图案化一第三光阻层,以形成该些第三滤光单元,其中该些第一补偿部系用以使各该些第一滤光单元与临接之该些第二滤光单元及临接之该些第三滤光单元平坦密合。20.如申请专利范围第19项所述之制造方法,其中该些第一补偿部系突出于对应之该第一主图案部之四个角落以及相对两侧边。21.如申请专利范围第19项所述之制造方法,其中各该些第二图案更包括一第二主图案部及复数个第二补偿部,且该些第二补偿部系用以使各该些第二滤光单元与临接之该些第一滤光单元及邻接之该些第三滤光单元平坦密合。22.如申请专利范围第21项所述之制造方法,其中该些第二补偿部系突出于对应之该第二主图案部之角落。23.如申请专利范围第21项所述之制造方法,其中该些第二补偿部系突出于对应之该第二主图案部之侧边。图式简单说明:第1A图绘示传统呈三角方式排列之彩色滤光片之结构上视图;第1B图绘示传统彩色滤光片于滤光单元临接处形成表面不平坦现象示意图;第1C图绘示传统彩色滤光片之滤光单元临接角落形成凹陷现象示意图;第2A图绘示依照本发明一较佳实施例彩色滤光片结构上视图;第2B图绘示形成第2A图中红光滤光单元之第一光罩图案示意图;第2C图绘示形成第2A图中绿光滤光单元之第二光罩图案示意图;第2D图绘示形成第2A图中蓝光滤光单元之第三光罩图案示意图;第2E图绘示第2B图、第2C图及第2D图中第一光罩、第二光罩及第三光罩重叠时第一图案、第二图案及第三图案相对位置关系示意图;第3图绘示依照本发明较佳实施例彩色滤光片之制造流程图;以及第4图绘示利用第一光罩之第一补偿部及第二光罩之第二补偿部形成滤光单元彼此临接角落平坦密合之彩色滤光片示意图;第5图绘示另一种彩色滤光片示意图。
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