| 主权项 |
1.一种蒸汽处理装置,其特征在于,具有蒸汽处理部,其包含:朝向被处理物喷射用于蒸汽处理的蒸汽的蒸汽喷嘴、设在该蒸汽喷嘴附近并将供给于蒸汽处理后的蒸汽的至少一部分排出到蒸汽处理系统外的排气机构、及冷却蒸汽处理后的蒸汽的冷却机构,在上述被处理物表面与上述蒸汽处理部间的间隙中,形成有被上述冷却机构冷却而凝结的上述蒸汽的冷凝液可通过的流路。2.如申请专利范围第1项之蒸汽处理装置,其中:上述冷却机构包含冷却流入上述排气机构前的蒸汽的第1冷却机构,及冷却通过上述排气机构的蒸汽的第2冷却机构。3.如申请专利范围第1项之蒸汽处理装置,其中:将上述蒸汽的冷凝液排出到蒸汽处理系统外的冷凝液排出机构与上述流路连通。4.如申请专利范围第1项之蒸汽处理装置,其中:具有以倾斜的状态输送上述被处理物的倾斜输送机构。5.如申请专利范围第2项之蒸汽处理装置,其中:将上述蒸汽的冷凝液排出到蒸汽处理系统外的冷凝液排出机构与上述流路连通。6.如申请专利范围第2项之蒸汽处理装置,其中:具有以倾斜的状态输送上述被处理物的倾斜输送机构。7.如申请专利范围第2项之蒸汽处理装置,其中:上述第1冷却机构与上述第2冷却机构为一体化者。图式简单说明:图1系表示本发明第1实施例的蒸汽处理装置的概略构成图。图2系表示本发明第2实施例的蒸汽处理装置的概略构成图。图3系表示本发明第3实施例的蒸汽处理装置的概略构成图。图4系表示使用蒸汽来清洗基板的类型与先前清洗装置的概略构成图。 |
