具有钌电极的半导体存储器及其制造方法,申请号CN00120681.8-传众专利搜索

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发明名称	具有钌电极的半导体存储器及其制造方法
摘要	一种用于存储单元的半导体存储器，包括：一有源矩阵，该有源矩阵具有：一半导体衬底，形成于所述半导体衬底上的多个晶体管，一形成于所述晶体管和半导体衬底上的绝缘层，和一与所述晶体管电连接的接触孔；一形成于所述接触孔和绝缘层上的第一钌(Ru)层；以及一形成于所述第一钌层上的具有一粗糙表面的第二钌层，其中该第一和第二Ru层形成Ru电极结构。本发明还涉及此种采存储器的制造方法。
申请公布号	CN1201397C	申请公布日期	2005.05.11
申请号	CN00120681.8	申请日期	2000.12.28
申请人	现代电子产业株式会社	发明人	朴圣彦
分类号	H01L27/10;H01L27/108;H01L21/28;H01L21/8242	主分类号	H01L27/10
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	陶凤波
主权项	1、一种用于存储单元的半导体存储器，包括：一有源矩阵，其包括：一半导体衬底，形成于所述半导体衬底上的多个晶体管，一形成于所述晶体管和半导体衬底的一部分上的绝缘层，和一具有底表面和侧表面的接触孔；一形成于所述接触孔的底表面和侧表面上和绝缘层上的第一钌(Ru)层；以及一形成于所述第一钌层上的具有一粗糙表面的第二钌层，其中，该第一和第二Ru层形成Ru电极结构。
地址	韩国京畿道

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