浆液循环方法

摘要

浆液循环方法，该方法包括如下步骤：将含有硅粉尘的废浆液分离成主要含有磨料颗粒的分散体和主要含有硅粉尘的分散体，所述废浆液是在存在含有磨料颗粒和其中分散有磨料颗粒的分散介质的浆液下由切割硅坯料形成的；通过离心和/或蒸馏所述主要含有硅粉尘的分散体来回收分散介质；并用磨料颗粒或主要含有磨料颗粒的分散体和所回收的分散介质重新制备浆液。

主权项

1.浆液循环方法，该方法包括如下步骤：在存在含有磨料颗粒和其中分散有磨料颗粒的分散体介质的浆液下将切割硅坯料形成的含有硅粉尘的废浆液分离成主要含有磨料颗粒的分散体和主要含有硅粉尘的分散体；通过以5000G-20000G的离心力离心分离主要含有硅粉尘的分散体来回收分散介质；和使用磨料颗粒或者主要含有磨料颗粒的分散体以及回收的分散介质重新制备浆液；其中该方法还包括：在回收分散介质前以2000G至4000G的离心力离心分离主要含硅粉尘的分散体来除去硅粉尘的步骤，或在回收分散介质后对回收的分散介质进行蒸馏的步骤。