发明名称
摘要
申请公布号 JP3645511(B2) 申请公布日期 2005.05.11
申请号 JP20010311540 申请日期 2001.10.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/498;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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