| 发明名称 |
OPTICAL SUBASSEMBLY AND PROJECTION OBJECTIVE IN SEMICONDUCTOR LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003296244(A1) |
申请公布日期 |
2005.05.11 |
| 申请号 |
AU20030296244 |
申请日期 |
2003.12.03 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
YIM-BUN, PATRICK KWAN;ANDREAS FROMMEYER;FRASER, G. MORRISON;WILLI HEINTEL;HARALD KIRCHNER;WOLFGANG KELLER |
| 分类号 |
G02B7/18;G02B7/182;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;G02B7/00 |
主分类号 |
G02B7/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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