用于探测具有突起的接触元件的晶片的探测卡

摘要

提供了一种用于接触一具有突起的接触元件的电子元件的探测卡。具体说，本发明可用于接触一具有弹性接触元件、如弹簧的半导体晶片。将一探测卡设计成具有与晶片上的接触元件相配合的端子。在一较佳实施例中，端子是柱销。在一较佳实施例中，端子包括一适合于反复接触的接触材料。在一尤为优选的实施例中，将一间隔变换器制成在其一侧具有接触柱销，并在其相对侧具有端子。一具有弹簧接触件的插入器将该间隔变换器的相对侧上的一接触件连接于一探测卡上相应的端子，该端子进而连接于一可以与一诸如传统测试器之类的测试装置相连的端子。

主权项

1.一种测试组件，包括：一电子器件，它包括从所述电子器件的一表面延伸出来的细长的弹性接触元件；一探测卡；一探头基底，它具有多个端子，每个端子被压靠于并压迫所述细长的弹性接触元件中的一个；一插入器基底，它设置在所述探测卡与所述探头基底之间并与它们隔开；多个细长的互连件，它们通过所述插入器基底在所述探测卡与所述探头基底之间提供柔顺的电气连接；以及一改变所述探头基底相对于所述探测卡的取向的机构。