发明名称 Pressure-based mass flow controller system
摘要
申请公布号 GB2386704(B) 申请公布日期 2005.05.11
申请号 GB20030012001 申请日期 2001.08.06
申请人 * MKS INSTRUMENTS,INC. 发明人 PAUL FRANCIS * GROSSHART
分类号 G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 主分类号 G05D7/06
代理机构 代理人
主权项
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