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METHOD AND DEVICE FOR SUBSTRATE ETCHING WITH VERY HIGH POWER INDUCTIVELY COUPLED PLASMA
摘要
申请公布号
EP1529305(A2)
申请公布日期
2005.05.11
申请号
EP20030763951
申请日期
2003.07.10
申请人
ALCATEL
发明人
PUECH, MICHEL
分类号
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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