发明名称 A METHOD OF FORMING MICRO PATTERN
摘要
申请公布号 KR20050043509(A) 申请公布日期 2005.05.11
申请号 KR20030078426 申请日期 2003.11.06
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 AHN, SEH WON;LEE, KI DONG;LEE, SUNG EUN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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