集成窄带滤光片

摘要

本发明公开了一种集成窄带滤光片，包括：基片，在基片上依次有相互牢固结合的下层膜系，厚度不等的谐振腔层列阵和上层膜系。本发明的集成窄带滤光片是基于F－P干涉原理，通过半导体刻蚀工艺来获取不同谐振腔层的厚度，达到控制窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同透射波长窄带滤光片在同一块基片上的集成。这种滤光片可适用于各个波段窄带滤光片列阵的制备。其优点是：工艺简单，只需设计一个膜系、通过镀膜和刻蚀即可完成集成窄带滤光片的制备，所制备的滤光片各单元的半峰宽很窄，其相对半峰宽都小于0.36％，可以起到很好的波长选择作用。

主权项

1.一种集成窄带滤光片，包括：基片(1)，其特征在于：在基片上有一与基片牢固结合的下层膜系(2)，在下层膜系上有一与下层膜系牢固结合的厚度不等的谐振腔层列阵(3)，在厚度不等的谐振腔层列阵上有一与其牢固结合的上层膜系(4)；所说的基片(1)材料为对所要集成的滤光片波段是透明的；所说的上、下层膜系(4、2)相同，均为(LH)5，谐振腔层厚度≥2L，其中H为高折射率膜层，L为低折射率膜层，数值5为高折射率膜层与低折射率膜层交替叠层的次数，膜层的光学厚度：nd为λ0/4，λ0为设计初始窄带滤光片膜系时的中心波长。