发明名称 METHOD FOR FABRICATING OXIDE LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050042707(A) 申请公布日期 2005.05.10
申请号 KR20030077775 申请日期 2003.11.04
申请人 DONGBU ANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SHIN, CHUL HO
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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