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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR A MODULAR ELECTRON BEAM SYSTEM FOR THE TREATMENT OF SURFACES
摘要
申请公布号 KR100488031(B1) 申请公布日期 2005.05.09
申请号 KR19997009803 申请日期 1999.10.22
申请人 发明人
分类号 H01J37/06;(IPC1-7):H01J37/06 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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