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发明名称 HYBRID ILLUMINATION SYSTEM FOR USE IN PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 KR100489818(B1) 申请公布日期 2005.05.06
申请号 KR20030086008 申请日期 2003.11.29
申请人 SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC. 发明人 STANTON, STUART;GALLATIN, GREGG;OSKOTSKY, MARK;ZERNIKE, FRITZ
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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