| 发明名称 |
A contact lithography device. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1052577(A1) |
申请公布日期 |
2005.05.06 |
| 申请号 |
HK20030104736 |
申请日期 |
2003.07.03 |
| 申请人 |
KUMAKHOV MURADIN ABUBEKIROVICH |
发明人 |
MURADIN ABUBEKIROVICH KUMAKHOV |
| 分类号 |
G21K5/00;G03B42/02;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F;G03B;G21K |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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