| 发明名称 |
APPARATUS FOR DRY SURFACE CLEANING OF MATERIALS USING SHOCK WAVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100489853(B1) |
申请公布日期 |
2005.05.06 |
| 申请号 |
KR20040096823 |
申请日期 |
2004.11.24 |
| 申请人 |
IMT CO., LTD. |
发明人 |
LEE, JONG MYOUNG;KIM, TAE HOON |
| 分类号 |
B08B7/00;C21D10/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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