发明名称 A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING SELF-ALIGNED CONTACT HOLE AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100487951(B1) 申请公布日期 2005.05.06
申请号 KR20030008629 申请日期 2003.02.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/60;H01L21/8234;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址