| 摘要 |
<P>La présente invention concerne un dispositif pour contrôler la température électronique dans une chambre à plasma RCE (1). Ce dispositif comprend au moins un limiteur (100) placé sur la trajectoire d'électrons dont l'énergie est supérieure à une énergie prédéterminée, de façon à former obstacle à ces électrons.Application aux sources d'ions et aux machines à plasma.</P> |
