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发明名称 SUBSTRATE WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 AU2003275563(A1) 申请公布日期 2005.05.05
申请号 AU20030275563 申请日期 2003.10.20
申请人 YAMAMOTO, YOSHIHARU 发明人 YOSHIHARU YAMAMOTO
分类号 B08B3/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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