发明名称 |
液滴涂敷方法、液滴涂敷装置及设备以及电子机器 |
摘要 |
本发明提供一种液滴涂敷方法,一边使液滴喷头(20)与基板(2)相对移动,一边从液滴喷头(20)喷出液滴并涂敷在基板(2)表面的给定区域内。使液滴对着基板(2)的表面,向着与垂直方向交叉的方向喷出,在使液滴喷头(20)与基板(2)相对移动并喷出上述液滴时,沿着上述相对移动方向喷出液滴。从而能够形成均匀的膜以及微小线宽的图形,且不会发生断线等品质不良。 |
申请公布号 |
CN1612671A |
申请公布日期 |
2005.05.04 |
申请号 |
CN200410089666.5 |
申请日期 |
2004.10.29 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
三浦弘纲 |
分类号 |
H05K1/02;H05K3/10;G02B5/20 |
主分类号 |
H05K1/02 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李香兰 |
主权项 |
1、一种液滴涂敷方法,一边使液滴喷头与基板相对移动,一边从所述液滴喷头喷出液滴,涂敷在基板表面的给定区域内,其特征在于,使所述液滴对着所述基板表面,向着与垂直方向交叉的方向喷出;在使所述液滴喷头与所述基板相对移动并喷出所述液滴时,沿着所述相对移动方向喷出所述液滴。 |
地址 |
日本东京 |