发明名称 液滴涂敷方法、液滴涂敷装置及设备以及电子机器
摘要 本发明提供一种液滴涂敷方法,一边使液滴喷头(20)与基板(2)相对移动,一边从液滴喷头(20)喷出液滴并涂敷在基板(2)表面的给定区域内。使液滴对着基板(2)的表面,向着与垂直方向交叉的方向喷出,在使液滴喷头(20)与基板(2)相对移动并喷出上述液滴时,沿着上述相对移动方向喷出液滴。从而能够形成均匀的膜以及微小线宽的图形,且不会发生断线等品质不良。
申请公布号 CN1612671A 申请公布日期 2005.05.04
申请号 CN200410089666.5 申请日期 2004.10.29
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 三浦弘纲
分类号 H05K1/02;H05K3/10;G02B5/20 主分类号 H05K1/02
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李香兰
主权项 1、一种液滴涂敷方法,一边使液滴喷头与基板相对移动,一边从所述液滴喷头喷出液滴,涂敷在基板表面的给定区域内,其特征在于,使所述液滴对着所述基板表面,向着与垂直方向交叉的方向喷出;在使所述液滴喷头与所述基板相对移动并喷出所述液滴时,沿着所述相对移动方向喷出所述液滴。
地址 日本东京