发明名称 | 分光镜 | ||
摘要 | 一种分光镜装备有一种温度补偿机构,其能可靠地减少由环境温度变化引起的光谱图象在波长色散方向上的偏移,而与分光镜的形式无关。分光镜装备有整体式支承入射件11、集光光学系统13和检测元件15的第一支承件17,用与第一支承件不同的材料制成的支承波长色散元件14的第二支承件21,和当环境温度变化时将第一支承件的收缩/膨胀量传送到第二支承件的传送件24、25。第二支承件包括一个当环境温度变化时、按照第二支承件自己的收缩/膨胀量与第一支承件的收缩/膨胀量之间的差别弹性变形的变形件28和按照变形件的弹性变形精细地旋转的旋转件26。上述波长色散元件这样安装在旋转件上,以使它的波长色散方向被定向为垂直于旋转件的轴线方向。 | ||
申请公布号 | CN1613004A | 申请公布日期 | 2005.05.04 |
申请号 | CN02827052.5 | 申请日期 | 2002.12.25 |
申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 胜沼淳 |
分类号 | G01J3/18 | 主分类号 | G01J3/18 |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 杨晓光;李峥 |
主权项 | 1.一种分光镜,包括:一个入射件,所述入射件用于引入待测光;一个波长色散元件,所述波长色散元件用于将来自上述入射件的待测光按照它的波长进行色散;一个集光光学系统,所述集光光学系统会聚已由上述波长色散元件色散的待测光,以便形成一个光谱图象;及一个检测元件,所述检测元件检测上述光谱图象,其中上述波长色散元件被适应为是可旋转的,并且设置一个按照环境温度的变化旋转上述波长色散元件的旋转机构,以便消除由环境温度变化所引起的上述光谱图象在波长色散方向上的偏移。 | ||
地址 | 日本东京都 |