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发明名称 HIGH PULSE RATE PULSE POWER SYSTEM WITH FAST RISE TIME AND LOW LEAKAGE CURRENT
摘要
申请公布号 EP1224717(B1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 EP20000953674 申请日期 2000.07.25
申请人 CYMER, INC. 发明人 BIRX, DANIEL, L. DI;PARTLO, WILLIAM, N.;NESS, RICHARD, M.;ROTHWEIL, DANIEL, A.;MELCHER, PAUL, C.;SMITH, BRETT, D.
分类号 G03F7/20;H01S3/097;H01S3/225;H02M3/00;H02M9/04;H03K3/57;H03K17/80;(IPC1-7):H01S3/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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